技术编号:8189566
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型是有关于一种水冷轴结构。背景技术单晶硅炉是一种生长单晶硅棒的真空高温设备,为了能够在热场维持工艺温度的情况下,可以取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶,装 配一有水冷翻板阀芯的翻板阀结构,翻版阀芯主要是通过连接臂和波纹管与一个一体式自动定位可水冷轴连接在一起。水冷轴的一头装有把手,当阀芯需要开启、关闭时,转动把手。因为是高温设备,在正常长晶过程中,炉室温度高达1600°C,因此阀芯需要水冷。因为单晶硅炉是密闭真空设备,因此水冷主要是通过水冷轴将水输入到阀芯内,然后通过环道,水又通过出水水管流出...
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