技术编号:8190020
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种带温控器的加热装置,应用于半导体可靠性测 试。尤其是涉及一种应用于需要加热的半导体器件的可靠性测试的温控装 置。背景技术半导体工业中,可靠性在产品的生产中是至关重要的,因而需要进行许多测试以保证器件的可靠性。这些可靠性测试包括LU测试(闩锁效应测试,Latch Up test)、静电放电测试(ElectrialStatic Urge, ESD)、FT测试(成品测试,Final Test), FA测试(失效分析测试,Fail Analysis) 以及其他电性测试。而在这些测试中,很多需要进行...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。