技术编号:8190615
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及单晶炉坩埚升降技术领域,具体涉及一种单晶炉埚升快慢速控制机构。背景技术直拉法单晶炉在工作中,坩埚升降运动分为很多个速度等级,可以大致归类为快慢速两种。当前期开炉装料时,坩埚要快速降至最低位;当高温加热熔化硅料时,随着液面的下降,坩埚要不断上升;在拉晶过程中,坩埚要带动熔硅跟随籽晶拉速慢速上升;在晶体生长结束收尾时,坩埚要快速下降,使埚底剩余硅料与固体晶棒脱离。上述众多运动中,前期装料降坩埚至最低埚位时为最高速,坩埚跟随籽晶拉速时为最低速,此两种速度相差大约为1000倍左右,超出伺服电机的调控范...
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