技术编号:8190809
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种圆弧倒角娃片。背景技术相对圆倒角晶棒加工目如圆棒单晶娃棒只需要滚圆,不需要倒角;方型娃棒都需要倒45度角,如图I和2所示。传统机械磨轮倒角加工的硅片,在倒角处存在应力集中点,在后续加工过程中倒角尖角容易与工治具发生碰撞,导致硅片缺角或破裂。 实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种圆弧倒角硅片,减少倒角处因为应力集中而造成破裂。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种圆弧倒角硅片,硅片为矩形,在矩形硅片的四角具有倒角,硅片的倒角的轮廓包括倒角边线和倒角边线两侧的圆弧,倒角边...
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