技术编号：8191029
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型关于一种薄膜剥离设备，尤其关于一种利用薄膜沾黏部来剥离薄膜的薄膜剥离设备。背景技术传统上，为了保护半导体基板上所形成的电路在多重处理程序中不要遭受到污染或损坏，或是为了便于制程的实施，通常会在基板上黏贴有薄膜。此薄膜只是存在于中间制程中，并不存在于最终产品中。因此，需要有一道薄膜剥离的程序，从而将薄膜予以剥离。传统的薄膜剥离设备，通常是利用大面积的胶带贴在薄膜上，然后将此胶带与薄膜剥离基板(譬如液晶显示面板)。然而，这样的程序往往会浪费很多胶带，不但不环保，更使得制造成本无法有效降低。中国台湾专利...
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