技术编号：8191224
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种用于在物体上特别是在基材上沉积由至少两种成分制成的层，特别是薄层的设备，其包含所述物体可以布置在其中的沉积室；至少一种具有待沉积材料的源，其特别可以或者已经布置在沉积室中；至少一个用于控制沉积过程的装置，该装置如此配置使得在待沉积的材料的气相中，因此在它沉积到物体上特别是基材上之前，待沉积的材料的至少一种成分的浓度可以通过选择性结合一定量的该至少一种成分来在改变，以使得沉积以受控的方式来进行。根据一种实施方案，该控制装置具有至少一种由反应性材料制成的吸气元件，该稀奇元件布置在沉积室中并且如此配...
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