氮化镓结晶、13族氮化物结晶、结晶基板、以及它们的制造方法技术资料下载

技术编号:8191507

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技术领域本发明涉及。背景技术氮化镓(GaN)类半导体材料用于蓝色发光二极管(LED)或白色LED、半导体激光(LD =Laser Diode)等半导体器件中。白色LED作为手机画面、液晶显示器等的背光灯使用,蓝色LED用于信号机或其它电饰等。此外,蓝紫色LD作为蓝光光盘用光源使用。现在,就作为紫外、紫 蓝 绿色光源使用的氮化镓(GaN)类半导体器件而言,除了一部分之外,其它基本上为在蓝宝石或SiC基板上使用MO-CVD法(有机金属化学气相沉积法)或MBE法(分子束外延生长法)等通过晶体生长制作的。作为使用蓝宝石或S...
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