技术编号：8191562
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及机电换能器装置(代表性地，电容型机电换能器装置)和分析物信息获取设备。背景技术用作超声换能器装置(也称为超声换能器)的机电换能器装置通过发射和接收作为声波的超声波而被用于例如人体内的肿瘤等的诊断设备中。近年来,使用微加工技术的电容型的机电换能器装置(电容型的微加工超声换能器，CMUT)正得到积极研究。该CMUT通过使用振动膜发射和接收超声波。并且，该CMUT具有可发射和接收的超声波的宽的频带(即，CMUT具有宽带特性)。使用该CMUT并由此具有比过去的医疗诊断形式高的精度的超声诊断作为有希望的技术...
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