技术编号:8191752
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及诸如被用作例如超声换能器的电容微加工(micromachined)超声换 能器阵列的机电换能器(electromechanical transducer),并且涉及机电换能器的制造方法。背景技术通过微加工技术制造的微机械部件可被应用于微米量级的制作,并且,已通过使 用这些微机械部件实现了各种功能微器件。作为压电器件的替代,已研究了利用这样的技 术的电容微加工超声换能器(CMUT)。在这样的CMUT中,通过利用振动膜的振动传送和接收 超声波,并且,特别地,可以容易地在液体中获得优异的宽带特性。已提出...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。