技术编号:8192029
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域实施方式涉及蓝宝石锭生长机。背景技术通常,为了制造蓝宝石晶片,将装满原料高纯度氧化铝(Al2O3)的生长炉加热至或超过2100摄氏度,以便熔化原料;然后通过诸如直拉法(CZ法)、泡生法、导模法或垂直-水平温度梯度冷冻(VHGF)的方法长成单晶的刚玉锭(ingot boule)经受一系列诸如取芯、磨削、切片、研磨、热处理和抛光的过程。在生产蓝宝石单晶时,气泡控制和位错控制(dislocation control)严重影响质量。晶体生长后,通过使用蚀刻方式可测量位错。位错由热应力产生,热应力是发生在晶体生长期间...
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