技术编号：8192121
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于光伏玻璃工艺设备领域，具体涉及一种PECVD加热器反射板装置。背景技术目前，于PECVD沈积设备加热器背面皆放置一片反射板，随着沈积薄膜温度越来越高的要求，加热器的极限温度也不断升高，一片反射板方式的加热器不仅在阻隔热能散失的功能上达不到要求，同时热源会以辐射热能的方式向腔壁扩散，使真空腔内温度控制难度增加，也使的需要在真空腔壁外需要布置大量水路来冷却逐渐发热的真空腔壁，为了使真空腔内达到需要调节的温度，只有通过提升加热器功率或增设多组加热器来达成，此举增加了设备开发成本。发明内容综上所述，为了克...
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