技术编号：8192594
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及精密定位平台，特别是一种基于音圈电机和压电陶瓷驱动器，能实现二维空间内宏微双重驱动的长行程一体式精密定位平台。适合于集成电路封装、微机电系统制造、激光加工、生物医学、微操作、微装配等精密定位工程领域。背景技术目前，集成电路封装、微机电系统制造、激光加工、微操作、微装配等领域对大行程、高速、高精度定位系统的需求日益迫切。因此，各种精密定位系统和装置被研制开发出来。传统二维平动高精度微定位平台采用串联结构，即一个平台堆叠或镶嵌在另一个平台上，这样第二个平台作为第一个平台的负载，增加了运动部件的惯量，限...
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