技术编号：8193155
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种补偿系统及其方法，具体地说，是涉及一种针对晶体成长的测量补偿系统及方法。背景技术多晶硅材料因为其生产速度快与价格低廉，目前广泛应用在消费性电子产品上，例如太阳能电池产业等，多晶硅材料的制作是利用铸造的方式，于一大坩埚中将硅原料全部熔融，再缓慢冷却，以形成包含不同晶格方向晶粒的晶锭。传统多晶硅成长炉大致可分为三种第一种是熔融液与结晶过程在不同坩埚中进行的铸造方式；第二种熔融与结晶过程在同一坩埚中进行的方式；以及第三种不使用坩埚的电磁铸造法。定向凝固法(DSS)为目前市场上生产多晶硅晶锭的主要方法...
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