技术编号:8193518
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种用于超高温的钨杆加热器。背景技术现在蓝宝石晶体生长炉,广泛采用的是铜电极引出钨杆发热体。由于蓝宝石晶体生长过程中很长时间保持在2200°C左右,为了保护铜电极而采取水冷结构(如附图I及附图2所示的结构,钨杆I’两端分别装在两个铜法兰上,每根钨杆I’包括第一直段101’、第二直段102’和过渡段103’,对应的第一直段101’、第二直段102’上分别设置有弧形固定杆3’,再分别在两个铜法兰上安装铜半环电极2’,在铜半环电极2’的内部设置有冷却水通道),它带来的问题是1、热损失较大;2、需要更高的...
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