技术编号:8194523
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种低温气体放电方法,具体地说是一种。背景技术大气压均匀放电已经成为低温等离子体研究和应用的热点。使用射频源作为驱动,能够在平行板介质阻挡放电系统中产生较大间隙的大气压均匀放电。然而射频源往往需要复杂的阻抗匹配电路,从而增加了工业生产的成本,不利于工业上的应用。利用几千赫兹或几百千赫兹驱动具有均匀气隙的惰性气体介质阻挡放电,也可以产生大气压均匀等离子体,但是该均匀放电气隙较小,不利于应用。如利用该系统在大气隙中实现均匀放电,则理论上所需外加电压是非常高的,这就需要高耐压值的特殊电介质作为阻挡介质层...
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