技术编号：8196750
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种纳米功能材料合成设备，具体地说是控制纳米功 能材料在局域合成的微电极微加热装置。 背景技术纳米功能材料在新一代纳米光电子、传感、存储等器件中有非常重要 的应用。为达到器件应用的目的，首先必须实现纳米材料的可控合成，如 对纳米材料结构、形貌、取向等按器件应用要求进行控制。必须指出的是， 纳米材料定位与定向合成技术是目前的难点技术，也是纳米材料合成中的 关键技术所在。目前已经有多种低维纳米材料的合成方法，涉及许多物理、化学手段，最常用的有化学气相沉积(CVD)、金属有机化学气相沉积 (M0CV...
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