技术编号：8200940
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种液相外延装置，特别涉及一种液相外延法制取薄膜的装置。背景技术液相外延法是由溶液中析出固相物质并沉积在衬底上生成单晶薄层的方法。液相 外延由尼尔松于1963年发明，成为化合物半导体单晶薄层的主要生长方法，被广泛的用于 电子器件的生产上。薄层材料和衬底材料相同的称为同质外延，反之称为异质外延。液相 外延可分为倾斜法、垂直法和滑舟法三种，其中倾斜法是在生长开始前，使石英管内的石英 容器向某一方向倾斜，并将溶液和衬底分别放在容器内的两端；垂直法是在生长开始前，将 溶液放在石墨坩锅中，而将衬底放在位于溶...
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