超声波马达的制作方法技术资料下载

技术编号:8201096

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技术领域本发明涉及超声波马达。背景技术 近年来,作为取代电磁型马达的新型马达,超声波马达正受到世人瞩目。与现有技术的电磁型马达相比,该超声波马达具有以下优点(1)不用齿轮就能够获得高的转矩;(2)断电时具有保持力;(3)具有高分辨能力;(4)安静性好;(5)不会产生电磁干扰,并且不受干扰的影响。作为现有技术的超声波马达,有日本特开平7-193291号公报中公开的结构。在该特开平7-193291号公报所公开的超声波马达中,在层叠压电元件的一部分中设置有检测振动用的内部电极,能够通过它检测振动模式。但是,能够由日本特开...
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