技术编号：8202766
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种多晶硅的制造方法和系统，更具体来说涉及一种利用氢等离子体辅助结合西门子法进行多晶硅生产的系统和制造方法。 背景技术 众所周知，当今世界信息及控制技术得到了飞速发展，其所依赖的是硅片制造的各种器件芯片，而硅片的原始材料就是多晶硅。 目前，多晶硅的生产方法一般采用西门子改良工艺，将石英砂在电弧炉中冶炼提纯至98％并生成工业硅，再将工业硅粉碎并在300℃左右的条件下用无水HCl与之在一个硫化床反应器中反应，生成易溶解的SiHCl3，同时形成气态混合物(H2、HCl、SiHCl3、SiCl4、Si)...
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