技术编号:8203038
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于等离子体发生装置,具体涉及一种气体放电等离子体针装置。背景技术等离子体是由正离子、中性粒子和电子组成,一般等离子体可以分为两类热平衡 等离子体和非热平衡等离子体,热平衡等离子体中所有粒子的温度一样。 在非热平衡等离子体中,电子的温度可高达数万度,而离子和中性粒子的温度远 小于电子温度,这种"热的冷却物"优点众多,非热平衡等离子体可作为高活性反应物广泛 应用于多种领域,如等离子体沉积和镀膜、刻蚀、表面处理、化学净化,生物净化以及医学应用。 大气压下,由于工作气体击穿电压相对较高,通常放电间隙距离非常...
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