技术编号:8203735
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及单晶硅制造领域,特别涉及一种适用于90炉的大投料的热场系统。 背景技术硅(Si)是一种半导体元素,太阳能硅电池片利用硅的特性,在硅表面形成光伏特 效应,产生电能。为制备太阳能电池片,需要将单晶硅原料重熔后定向凝固,然后切片做成 电池片组件。为实现单晶硅的定向长晶凝固过程,需要一个能稳定长晶的热场系统,该热场 系统包括上炉室、位于中部的加热器以及下炉室,所述上下炉室主要起保温隔热的作用,所 述加热器主要是提供热场系统升温所需要的热能。目前大部分使用的是80和85型号的单晶炉。就80和85型号的单晶炉...
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