技术编号：8204288
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及直接硅单晶的工艺技术领域，具体涉及一种18英寸热场生长Φ8"太 阳能级直拉硅单晶工艺。背景技术目前，国际上直拉单晶硅主流产品是8英寸，逐渐向12英寸过渡，研制水平达到 16 18英寸。据统计，8英寸硅片的全球用量占60%左右，6英寸占20%左右，其余占20%左右ο中国直拉单晶硅产品的总体水平仍然较低，产品结构以4英寸、5英寸、6英寸硅单 晶片为主流，市场对6英寸和8英寸硅片的需求增长非常强劲，太阳能硅片市场增长是主要 动力来源。而更大尺寸的单晶硅技术国内很少，中国与世界水平有较大差距。单晶硅材料的...
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