技术编号：8204991
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置。背景技术传统的多晶硅铸锭有三种方式直接浇铸法、定向凝固法和热交换法；而最常用的多晶硅铸锭炉一般是采用直熔炉，炉子下部有很强的水冷系统，氩气从炉子的上部通入。在使用直熔炉的现有技术当中，由于多晶硅铸锭炉炉内温度和压力均较高，所以，对多晶硅铸锭炉的保护始终是一个重要的环节；而传统的送气管进入炉内后往往是采用单一的喷气嘴，而且还是集中在炉内的上方喷气；这种技术方案既不符合氩气的自上而下的分散原理，也不利于氩气在铸锭炉炉内均匀快速扩散，不利于对铸锭炉的保护。发明内容本实...
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