技术编号：8207147
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及单硅单晶体生长与制造业中使用的一种石墨埚邦。 背景技术在现有单晶硅加工过程中，用到的化料设备就是晶体生长炉，晶体生长炉， 包括炉体、炉盖、坩埚、石墨埚邦、埚杆，坩埚置于石墨埚邦内，石墨埚邦下方为埚杆，石墨埚邦包括邦壁和邦底。目前，在传统的硅单晶生长设备的热系统中会出现硅液汽化体或硅液外渗 的现象，当硅液汽化体或硅液外渗后受重力和石墨的浸润作用时，硅液汽化体 或外渗硅液将通过石墨埚帮的外缘向底部流到邦底与埚杆的缝隙之间，从而使 得邦底与埚杆在当次生产中发生硅粘连。实用新型内容本实用新型需要解决的...
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