技术编号:8207337
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型是一种微型加热器,具体为采用MEMS (微机电系统)技术制作的一种利用电磁感应原理进行加热的微型加热器。微型加热器是气体微传感器、PCR扩增芯片、微湿度传感器、微喷嘴等的重要组成部分。背景技术基于MEMS技术的微加热器因其功耗低、成本低、体积小、灵敏度高、重复性好等优点,在微型气体传感器、微湿度传感器、PCR扩增芯片、微气体热传导探测器、微喷嘴以及红外分析系统中的红外光源等器件中具有重要的应用。而目前MEMS器件中大都采用电阻加热的原理,电阻加热存在效率低、响应时间长及分布不均匀等缺点。实用新型内...
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