技术编号:8207447
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种坩埚,特别是用于单晶硅直拉炉石墨热场的新型石墨坩埚。 背景技术目前的单晶硅直拉炉中所使用的石墨坩埚基本都是山三个相同的石墨件直接拼成埚休的,如图3所示,由于石墨件经常需要移出单晶炉进行清扫,然后再组装后放入单晶 炉中重新使用,石墨件的尖端处经常会碰伤,减少了石墨坩埚的使用寿命,并存在着一 定的渗硅,漏硅的隐患;另一方面,每个单瓣的石墨件必须是由整块的原料石墨加工而 成,而越大块的石墨价格越高,生产成本越高。实用新型内容本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种生产制造时所需原料石墨...
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