技术编号：8215600
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 纳米科学技术是一门涉及物理学、化学、材料学、微电子学、生物学和医学等学科 交叉的综合性科学。由于纳米材料在微小尺寸下表现出特殊的量子尺寸效应，纳米科学技 术在理论上引起广泛注意和在应用上经历着高速的发展。 纳米结构是当今科学发展前沿中极具挑战性的研究领域。在大量新兴的纳米材 料和器件在电子器件、集成电路、生物医学、国防等发面展现出前所未有的应用前景的同 时，降低纳微米制造成本是纳米器件工业化应用的前提。随着器件的物理尺寸不断缩小， 对器件制造工艺条件也提...
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