技术编号:8218962
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。溅射是制备薄膜材料的主要技术之一,其中被粒子轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。按成份可将靶材分为纯金属靶材、合金靶材和陶瓷化合物靶材。当前,平面显示器中的导电膜材料主要是铝,阻挡层材料主要用钼作为溅射靶材形成钼薄膜。但随着LCD面板尺寸的大型化,需要电阻率更小的导电膜材料,而铜代替铝的趋势正在形成。实践表明,钼钛合金是替代纯钼的最好材料之一。钛具有和铜优异的附着性,而钼有利于其致密阻挡层的稳定性。因此,平面显示器用Mo-Ti作为铜和铝合金...
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