技术编号：8222869
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。传统的微光刻基底材料为硅基底材料、普通光学玻璃等，这些材料存在着某些不足只能在可见光范围内适用；有的材料本身不透明，脆性大，无法用作透射式器件；有的材料熔点低，硬度低，无法应用于高温、高压、高强度的环境中；有的材料重量大，不利于器件的轻量化……而透明陶瓷材料具有相对这些传统材料更多的优点耐高温，耐高压，耐腐蚀，高硬度，在可见光和红外波段均有良好的透过率，能成为优良的光刻基底材料。近年来，透明陶瓷作为一种广受关注的新型光功能材料，在军事、科研、工业和医疗等领...
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