技术编号：8224847
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，集成电路作为核心的电子信息产业已经成为了第一大产业，在改造和拉动传统产业向数字时代转变中起着巨大的作用，特别是在我国正处于转型发展的关键时期。在集成电路制造技术产业中，有一类是基于晶片的加工，包括刻蚀、等离子体增强/化学气相沉积(PE/CVD)、物理气相沉积(PVD)以及氧化扩散工艺等。在晶片加工中，对晶片的固定非常重要，目前应用最多的就是利用静电卡盘内部的静电电极在介电层以及晶片上感生出等量异性电荷，利用异性电荷相吸原理产生静电吸附力对晶片进行固定...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。