一种用于超薄、柔性电子器件转移的装置、方法和应用技术资料下载

技术编号:8224850

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本发明涉及微电子封装与制造领域,具体涉及一种针对不同大小和厚度的电子器 件转移的装置、方法与应用。背景技术 目前,电子器件在极大的市场需求下发展迅速。柔性电子技术开拓了更为广阔的 应用区域,如智能皮肤、电子纸、柔性显示器等。柔性电子要求电子器件如1C芯片、电子结 构、集成微器件等具备一定的曲面适应能力,驱使电子器件变的越来越薄,目前实验用的1C 芯片其厚度已经达到10ym。然而,超薄器件极易弯曲和碎裂,不易承受极大的冲击力,这就 给目前器件从供体转移至接...
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