技术编号：8224901
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。传统的半导体和液晶显示行业都是以硅材料为基础的，而碳基半导体材料具有更高的迀移率和不同于硅材料的特殊电学性质，因此碳基半导体材料作为新一代的半导体材料开始得到日益广泛的研宄和开发利用。目前，碳纳米管(Carbon nano tube，CNT)的开发方法主要是利用固定催化剂位置的思路来实现碳纳米管的生长，但是利用这种方法制备出的碳纳米管与后续工艺的兼容性较差，例如，刻蚀工艺会部分破坏碳纳米管的完整性。因此，现有的碳纳米管的制备方法难以实现大规模的产业化应用。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。