技术编号:8227285
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及真空蒸镀装置。尤其,本发明涉及能够在一个成膜室内使多个成 膜层成膜的真空蒸镀装置。本发明的真空蒸镀装置适合作为用于制造有机EL(Elect r〇 Luminesence电致发光)装置的装置。另外,本发明涉及有机EL装置的制造方法。背景技术 近几年,作为替代白炽灯、荧光灯的照明装置,有机EL装置受到注目,并进行了很 多研宄。有机EL装置是通过在玻璃基板、透明树脂薄膜等基材层叠了有机EL元件而成的。 并且,有机EL元件是使一方或者双方具有透光性的...
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