技术编号：8227447
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。电容式MEMS压力传感器需要在应用压力下互相相对运动的两个电极。这最通常这样实现使得固定电极(下文称为下电极)形成在衬底上，而可动电极(下文称为上电极)设置在可变形隔膜上，该可变形隔膜受到要感应的压力。通常通过导电薄膜的沉积、导电层的电绝缘，或者通过在两个导电材料之间增加隔垫层来形成电极中的一个或者多个。虽然形成电极的已知方法是有效的，但是这些电极可能使得不需要的性质或者加工步骤引入到装置中。作为示例，材料的沉积需要附加的加工步骤，由此使得制造方法变复杂。...
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