技术编号:8227647
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。为了对物体的微小的区域进行观察,使用扫描式电子显微镜(SEM)、透射式电子显微镜(TEM)等。通常,在这些装置中,对用于供试样配置的框体进行真空排气,将试样氛围形成真空状态并对试样进行拍摄。然而,生物化学试样、液体试样等因真空而受损,或者导致状态变化。另一方面,欲利用电子显微镜对上述的试样进行观察的需求较大,所以近年来,开发有能够对观察对象试样在大气压下进行观察的SEM装置、试样保持装置等。这些装置原理上在电子光学系统与试样之间设置能够供电子线透射的隔膜或...
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