技术编号：8238501
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。半导体设备或液晶显示器等的制造工艺中，需执行引入或取出用于半导体晶片或液晶显示器的玻璃基板等基板的过程。正在开发使用的基板处理装置(搬运机器人)有双臂机器人、由多个机械臂构成的搬运机器人等，通常具备保持多个承载架的承载架保持部；处理基板的基板处理部；在承载架保持部与基板处理部之间，上下积层的反转单元；在各个反转单元与承载架保持部之间搬运基板的分度器机器人；在各个反转单元与基板处理部之间搬运基板的主搬运机器人。此类搬运机器人根本上是为了更加有效地执行晶片、基...
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