技术编号：8241920
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种振子、振子的制造方法、电子装置、电子设备以及移动体。背景技术近年来，作为小型传感器装置，开发有一种具备如下功能元件的电子装置，所述功能元件使用应用了作为精密加工技术之一的半导体制造方法的MEMS (Micro ElectronicsMechanical Systems微机电系统)技术来对物理量进行检测。作为功能元件，例如已知一种如下的物理量传感器元件，其具有被固定配置的固定电极和相对于固定电极隔开预定的间隔而对置并且被设置为能够进行位移的可动...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。