技术编号：8248084
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体紫外光电探测，具体涉及一种以石英片为衬底，以纳米GO(氧化石墨烯)薄膜作为阻挡层及隧穿层、Ti02/G0复合薄膜为光电转换材料、Au为金属叉指电极的高性能紫外探测器及其制备方法。背景技术紫外探测技术是继红外和激光探测技术之后，又一项迅速发展起来的军民两用光电探测技术。一直以来，紫外探测多采用光电倍增管或硅基光电二极管器件来实现，然而这些器件具有价格昂贵、工作电压高、体积大等明显缺点。随着宽禁带半导体材料的研宄进展，人们开始研制新一代基于宽禁...
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