技术编号:8248533
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在硅单晶生产过程中,单晶炉上的充气系统负责完成对单晶炉体内部填充氩气,氩气气流自上而下贯穿单晶生产的区域,使生产中的单晶始终处于惰性气体环境之中,且保证单晶炉室内部压力稳定。同时,氩气气流可携带炉室内因高温而产生的硅氧化物和杂质挥发物,并通过单晶炉的真空系统带出炉室外。然而在氩气填充过程中存在有填充氩气分布不均匀和氩气流偏流大、不平稳的问题,这些问题一直是直拉法单晶炉氩气填充过程渴望解决的问题。氩气流不平稳,对晶棒进行冲击会造成晶棒摆动,不利于单晶生长;氩...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。