技术编号：8254932
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。阴极荧光光谱仪和电子束诱导感生电流装置是安装在扫描电子显微镜上的两个附件。阴极荧光光谱仪由于采用了束斑尺寸仅为几个纳米的电子束激发源，因此可以对材料和器件中的纳米结构进行光谱采集和成像，对于揭示微纳尺度的局域光学性质起到了巨大的推动作用。目前的阴极荧光光谱仪还是依靠从国外进口，国内没有厂家生产。为了进一步拓展阴极荧光光谱仪的空间分辨能力和光谱分辨率，大多数的阴极荧光光谱仪均安装在场发射电镜上，因为束斑尺寸小，可达I纳米，同时发展了低温冷台，可以在接近液氦温...
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