技术编号:8255435
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。微纳生化传感器作为一种重要的生化检测手段,在环境监测、食品工业、医学诊断、国家安全等方面有着广泛的应用。基于MEMS工艺制造的谐振式微悬臂梁生化传感器是目前传感器前沿研宄领域的一个热点。谐振式微悬臂梁传感器属于质量型传感器,本身具有灵敏度高、功耗低、抗干扰性强等优点。与石英晶体微天平(QCM,Quartz CrystalMicrobalance)等其他谐振式传感器以及电化学传感器相比,谐振式微悬臂梁传感器同时具有与IC工艺兼容、可大批量生产、可集成、微型化...
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