技术编号：8262065
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 进行闪光点亮的放电灯被广泛用于以半导体制造工序中的闪光退火（flash anneal)为代表的产业用途，本发明的灯特别是在利用真空紫外光的曝光工序中被使用。 在上述曝光工序中，能够对小区域以短时间照射高密度的光，要求使用光的方向 性及分布中不均匀较少且接近于平行光的光。 以往，在该曝光工序中，主要使用日本特开2012-43736号公报（专利文献1)所 示的真空管形状的闪光灯。该灯与进行通常的闪光点亮的灯相比，主电极间距离较小，能够 作为接近于点光源的光源...
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