技术编号：8262141
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。氮化物异质结界面上的大能带带阶和强极化电荷产生高密度的二维电子气，氮化物的宽禁带又显著提高了异质结的击穿电压，使制成的异质结场效应管能在高压大电流状态下工作，显著提高了场效应管的射频工作效率和输出功率。但是，这种极性异质结也给器件研制带来一些负面影响。场效应管中的源、栅和漏电极都是高电导的金属，构成各自的等势体，横向电场为零。而势皇层是半导体，其电导率比金属低得多。电场连续条件要求势皇层与电极边界处的横向电场也为零，就在势皇层表面形成台阶状的电势分布。对此...
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