技术编号:8262533
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。集成无源器件(IF1D1ntegrated Passive Device)因其优越的独立无源元件特性目前广泛应用于微波射频电路及其产品中。品质因数Q factor是衡量电感质量的主要参数。电感的Q值越高,损耗越小,增益越高。因此,高Q值、低损耗、高可靠性是iro制造过程不断改进的目标。图1A所示为Al做上下极板的MM (金属-绝缘介质-金属)电容器的剖面结构示意图;图1B所示为Al做下极板、Cu做上极板的MIM (金属-绝缘介质-金属)电容器的剖面结构示意...
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