技术编号：8267094
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电麦克风具有体积小以及工艺简单容易的优点，因此大量运用于手机。而一般现有的声波传感器结构如图7所不。此声波传感器80具有一基板81、一背板82以及一振膜83，振膜83覆盖在基板81的开孔811上，而背板82设置于基板81上并且和振膜83之间有一层空气间隙84。电极单元85设置在背板82上并且具有一固定部821围绕固定振膜83的外周缘，而固定部821可为一空心柱体或是复数个凸块围绕形成。因此当声波传感器80接收到声波时，振膜83能够振动并改变其与电极单元...
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