技术编号：8268561
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 制备多晶硅的方法可包括将包含氢和硅单体（诸如批1(13或SiH4)的气体供给到 容纳有维持在高温下的硅颗粒的流化床。颗粒尺寸增大，并在足够大时，通过流化床反应器 (FBR)的底部出来成为产物。排放气体离开FBR的顶部。排放气体流可以经过回收过程，在 这些回收过程中冷凝、洗涤、吸收和吸附是通常用于促进硅单体和氢的捕获以用于再循环 的单元操作。 关于FBR方法的一个问题在于，必须将围绕硅颗粒床的壁加热到高于平均床温度 的温度以促进热传递。这可例如通过使用电阻...
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