技术编号:8269983
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及抛光组合物和方法。更具体而言,本发明涉及用于抛光含铂和含钌基 板的方法和用于其的组合物。背景技术 在存储器应用中,典型的固态存储器件(动态随机存取存储器(DRAM)、静态随 机存取存储器(SRAM)、可擦除可编程只读存储器(EPROM)和电可擦除可编程只读存储 器(EEPROM))对于每一存储位采用微电子电路元件。对于典型的非易失存储器元件(如 EEPROM,S卩,"闪"存),采用浮栅场效晶体管作为数据存储器件。这些器件在场效晶体管的 栅极(g...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。