技术编号:8275694
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在气体精制、半导体制备工艺、通过无氧化炉进行的钢铁.金属等的热处理、特殊金属焊接、食品包装等领域,使用高纯度气体。在氩气、氮气、氦气等高纯度气体中,需要以ppb的等级正确测定氧气浓度。在这种情况下,需要ppb水平的氧气浓度的校准气体。然而,氧气浓度小于Ippm的校准气体在市场上没有销售。因此,在现场,通过像日本专利第4406392号公报公开的那样的含氧气体制备装置制备气体。日本专利第4406392号公报中公开的含氧气体制备装置构成为,使载气依次从载气主流路...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。