技术编号:8276811
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明用于薄膜嵌段共聚物取向控制的酸酐共聚物面涂层 相关申请的交叉引用 该部分继续申请要求于2013年02月07日提出的美国申请第13/761,918号的优 先权,该美国申请要求于2012年02月10日提出的美国临时申请第61/597, 327号的优先 权,它们的内容通过引用并入本文。 发明领域 使用自组装嵌段共聚物制备先进的平版印刷图案取决于其在薄膜中的取向控制。 通过热退火面涂层能够使嵌段共聚物取向,否则嵌段共聚物的取向会非常困难。本发明包 括使用共...
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