传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8280593

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近年来,出于提高生产效率的目的,不断将工业用机器人导入工厂等的生产施设。这种工业机器人具备能够相对于I个轴或者多个轴方向进行驱动的臂;以及安装于臂前端侧的手、部件检查用器械或者部件输送用器械等末端执行器,并且能够执行部件的组装作业、部件加工作业等部件制造作业、部件输送作业以及部件检查作业等。在这种工业用机器人中,例如在臂与末端执行器之间设置有力检测装置。作为工业用机器人所使用的力检测装置,例如使用有专利文献I所公开的力检测装置。专利文献I所记载的力检测装置...
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